京都玉崎株式會社 高純流體應用顧問
半導體前驅體氣體、高純載氣(6N級氮氣/氬氣)及可燃/助燃氣體的流體控制組件,必須滿足嚴苛的潔凈度與析出物管控要求。FUJIKIN UD-11500HPE作為UD系列的超高純度/特種氣體對應型(E型配置),是京都玉崎向國內芯片fab廠、光伏電池及顯示面板企業重點推介的手動針閥方案。
HPE型本體材質仍為SUSF316鍛造不銹鋼,內表面通常執行更高級別的電化學拋光(EP)或鏡面鈍化,接液部實施一級或二級禁油(Oxygen Clean)處理——所有接液表面經溶劑超聲清洗去除油脂殘留,僅在閥桿螺紋與非接液O型圈處涂敷微量氧兼容潤滑脂,附禁油清洗證明。部分E型批次還可指定氦檢漏率指標(如<1×10?? Pa·m3/s)及低析出填料配置,以匹配Specialty Gas(特氣)管路的規范要求。
該閥保持24.8 MPa耐壓、面板安裝(φ30.5mm)、外螺紋Rc連接形式不變,CV值0.35~0.5,使用溫度-50℃~+80℃。碟片可根據特氣兼容性選PCTFE(惰性氣體)或金屬對金屬(氧化性/強腐蝕特氣)。手柄排水孔設計防止冷凝積水。
京都玉崎所有進口的UD-11500HPE均隨貨提供原廠禁油處理報告、材質證明及氣密測試記錄。對于特氣管路中的Purge/vent手動切斷、鋼瓶架減壓器后的一次切斷及GC/MS采樣支路隔離,推薦選用HPE型以確保系統純度不受閥門析出物污染。用戶在安裝時請注意使用無油工具并按扭矩要求緊固面板螺母,避免破壞禁油狀態。
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