ULVAC 愛發(fā)科現(xiàn)貨日本皮拉尼真空計

ULVAC 愛發(fā)科現(xiàn)貨日本皮拉尼真空計
特點
傳感器規(guī)格：如果不需要壓力指示器
?真空計成降低
?控制板空間節(jié)省
?配線簡化
測定子更換更容易
燈絲使用耐腐蝕材料鉑
到目前為止使用的測量部件（SP1：WP-01,02,03,16）仍在使用
可以輸出2個設(shè)定點
SP1：壓力為0至5 V輸出（非線性輸出）
電源電壓：24 VDC輸入

產(chǎn)品型號：SP1
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2025-05-16
訪問量：826

聯(lián)系電話：

產(chǎn)品詳情

品牌	ULVAC/日本愛發(fā)科	價格區(qū)間	1萬-2萬
產(chǎn)地類別	進口	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,建材/家具,綜合
供貨號	137.1702.5688

ULVAC 愛發(fā)科現(xiàn)貨日本皮拉尼真空計

特點

傳感器規(guī)格：如果不需要壓力指示器
?真空計成降低
?控制板空間節(jié)省
?配線簡化
測定子更換更容易
燈絲使用耐腐蝕材料鉑
到目前為止使用的測量部件（SP1：WP-01,02,03,16）仍在使用
可以輸出2個設(shè)定點
SP1：壓力為0至5 V輸出（非線性輸出）
電源電壓：24 VDC輸入

用途

用于半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制

規(guī)格

類型	傳感器單元
模型	SP1
兼容的傳感器頭	WP-01、WP-02、WP-03、WP-16
準確性	±15%（51Pa～760Pa）
	±30%（10Pa～1000Pa）
	±50%（0.4Pa～3000Pa）
工作溫度范圍	10～40℃
測量值輸出	非線性輸出：0至5VDC（最大10V）
設(shè)定點 1/2 壓力設(shè)定調(diào)節(jié)監(jiān)視器	非線性輸出：0至5VDC（最大10V）
控制輸出信號	集電極開路輸出，負邏輯
	錯誤信號
	設(shè)定值 1/2
LED顯示屏	功率、錯誤、設(shè)定點 1、設(shè)定點 2
電源電壓	DC24V±2V，90mA（最大）
輸入/輸出連接器	D-sub-15P（M2.6螺絲）
重量	190克/0.41磅（不包括傳感器頭）